凈化車(chē)間，也可以稱(chēng)為凈化車(chē)間或清凈室。它是污染控制的基礎。沒(méi)有凈化車(chē)間，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。那么凈化車(chē)間是由哪幾部分組呢？
凈化車(chē)間共有五部分組成：
1、隔間
凈化車(chē)間隔間分為三大部分,更衣室,千級區和百級區,更衣室與千級區,千級區和百級區均設風(fēng)淋室(airshower),凈化車(chē)間與室外設有物品出入通道傳遞箱(passbox).當人員進(jìn)入凈化車(chē)間時(shí),首先要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室,對人體所帶的灰塵吹淋,減少人員帶入凈化車(chē)間的灰塵.傳遞箱則是對物品灰塵進(jìn)行吹淋,達到落塵的效果。
2、風(fēng)系統風(fēng)系統流程圖
系統采用的是全新風(fēng)空調箱+FFU系統：
全新風(fēng)空調箱結構
FFU:(FANFILTERUNIT)即風(fēng)機和過(guò)濾器
千級區過(guò)濾器采用HEPA,過(guò)濾效率99.997%,百級區過(guò)濾器采用ULPA,過(guò)濾效率99.9995%。
3、水系統水系統流程圖
冰水系統分為一次側和二次側.
一次側冰水水溫7-12度,供給空調箱和風(fēng)機盤(pán)管,二次側冰水12-17度供給干盤(pán)管系統.一次側冰水和二次冰水為兩個(gè)不同的回路,之間由板式換熱器連接.
板式換熱器原理
干盤(pán)管:不結露的盤(pán)管,因凈化車(chē)間溫度在22度,其露點(diǎn)溫度12度左右,故7度冰水不能直接進(jìn)入凈化車(chē)間,所以進(jìn)干盤(pán)管的冰水溫度在12-14度.
4、控制系統(DDC)溫度:干盤(pán)管系統控制
濕度:空調箱調節通過(guò)感測的信號,控制三通閥開(kāi)度來(lái)調節空調箱盤(pán)管進(jìn)水量。
正壓:空調箱調節,根據靜壓感測的信號,自動(dòng)調節空調箱馬達變頻器的頻率,從而調節進(jìn)入室內的新風(fēng)量。
5、其他系統
不只是空調系統,凈化車(chē)間系統中還包括有真空,空壓,氮氣,純水,廢水,二氧化碳系統,制程排氣系統,
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